Egenskaper for diffuse silisiumtrykksensorer

Sammenlignet med sensorer med andre prinsipper, har diffuse silisiumtrykksensorer følgende egenskaper:

1. Egnet for å lage sensorer med liten rekkevidde. Den piezoresistive effekten til den kraftfølsomme motstanden til silisiumbrikken har ingen dødsone i det lave området nær null, og rekkevidden til trykksensoren kan være så liten som flere Kpa.

2. Høy utgangsfølsomhet. Følsomhetsfaktoren for silisiumtøyningsmotstanden er 50-100 ganger høyere enn for metallstrekkmåleren, så følsomheten til den tilsvarende sensoren er veldig høy, og den generelle utgangsrekkevidden er omtrent 100mv. Derfor er det ingen spesielle krav til grensesnittkretsen, og den er mer praktisk å bruke.

3. Høy presisjon. Siden sensing, sensitiv konvertering og deteksjon av sensoren realiseres av den samme komponenten, er det ingen mellomliggende konverteringskobling, og repeterbarheten og hysteresefeilene er små. Siden det monokrystallinske silisiumet i seg selv har stor stivhet og liten deformasjon, er god linearitet garantert.

4. På grunn av den lave deformasjonen av arbeidsenheten i størrelsesorden mikrobelastning, er den maksimale forskyvningen av den elastiske brikken i størrelsesorden sub-mikron, så det er ingen slitasje, ingen tretthet, ingen aldring, og tjenesten levetiden er så lang som 1×103 trykksykluser, med stabil ytelse og høy pålitelighet.

5. På grunn av den utmerkede kjemiske anti-korrosjonsytelsen til silisium, har selv ikke-isolerte diffust silisium trykksensorer en betydelig grad av evne til å tilpasse seg ulike medier.

6. Siden brikken tar i bruk integrert teknologi og ikke har noen transmisjonsdeler, er den liten i størrelse og lett i vekt.

Noen spørsmål om vårUPB1silisium trykktransmitter, vennligst kontaktStella Meng.