Funksjoner av diffuse silisium trykksensorer

Funksjoner av diffusert silisium trykksensorUPX19

1. Den er egnet for å lage sendere i liten skala: den piezoresistive effekten av den kraftfølsomme motstanden til silisiumbrikken har ingen dødsone i lavområdet nær nullpunktet, og rekkevidden til trykksensoren kan være som liten som flere Kpa.

2. Høy utgangsfølsomhet: Følsomhetsfaktoren til silisiumbelastningsmotstanden er 50 til 100 ganger høyere enn for metallstrekkmålere, så følsomheten til den tilsvarende sensoren er veldig høy, og den generelle utgangen i området er omtrent 100mv. Derfor er det ingen spesielle krav til grensesnittkretsen, og den er mer praktisk å bruke.

3. Høy presisjon: Fordi sensorens følelse, sensitive konvertering og deteksjon realiseres av samme komponent, er det ingen mellomliggende konverteringskobling, og repeterbarheten og hysteresefeilen er liten. Siden det monokrystallinske silisiumet i seg selv er svært stivt og deformasjonen er liten, sikres god linearitet.

4. Siden den enkjønnede deformasjonen av verket er så lav som størrelsen på mikrobelastning, er den maksimale forskyvningen av den elastiske brikken i størrelsesorden sub-mikron, så det er ingen slitasje, ingen tretthet, ingen aldring, og levetiden er så lang som 1×103 trykksyklus, med stabil ytelse og høy pålitelighet.

5. På grunn av den utmerkede kjemiske korrosjonsmotstanden til silisium, har selv ikke-isolerte diffust silisium trykksensorer evnen til å tilpasse seg ulike medier i betydelig grad.

6. Siden brikken vedtar en integrert prosess og ikke har noen transmisjonsdeler, er den liten i størrelse og lett i vekt.

For detaljer, vennligst kontaktStella Meng.