Struktur og arbeidsprinsipp for diffus silisiumtrykksender

Struktursammensetning av diffus silisiumtrykksender

Siden utgangen av trykksensorenUPX19er et ikke-standard signal, i praktiske applikasjoner, for å gjøre sensoren universell og lette signaloverføring og opptak, brukes sensoren sammen med en standard signalinngangskrets for å sende ut et standardsignal. Sensoren som sender ut standardsignalet på dette tidspunktet, kalles trykksenderenUPB13.

Kort sagt, senderen utvikles gradvis fra sensoren. Den diffuse silisiumtrykksenderen som studeres i dette papiret, består hovedsakelig av MEMS-sensor, målekapsel, grensesnitt og behandlingskrets (smart kretskort).

Trykksensoren og diodtemperatursensoren er pakket på toppen av målekapselen, og kapselkroppen klemmes fast av to tetningsflenser for å danne måledelen av senderen, som er ansvarlig for å konvertere trykksignalet som skal måles på arbeidsstedet til et spenningssignal. I tillegg utgjør et elektronisk kretskort, en flytende krystallskjermhode og en tilkoblingsterminal skjermdelen, som er ansvarlig for å konvertere spenningssignalutgangen ved sensoren til 4-20mA gjennom forsterkning, og deretter sende ut et standard strømsignal.

Arbeidsprinsipp for diffus silisiumtrykksender

Basert på den piezoresistive effekten av monokrystallinsk silisium, fremstilles en elastisk komponent i en bestemt retning på silisiumwaferen med avansert mikroelektromekanisk behandlingsteknologi, og fire kraftfølsomme resistorer med lik motstand er fabrikkert av integrert kretsteknologi i riktig posisjon, som kobles til en Wheatstone-bro. En konstant spenning (strøm) påføres broen, og det målte trykket overføres til silisiumbrikken gjennom silikonoljen forseglet i målekapselen uten tap, og senderen sender ut et spenningssignal som er nesten proporsjonalt med trykket som skal måles, og deretter forsterkes spenningssignalet og konverteres til et to-tråds standardsignal gjennom elektroniske kretser.

Slik oppsummerer du:

Det kan være kjent fra arbeidsprinsippet at trykksensoren er en viktig del av trykksenderenUPB1, og hovedkilden til temperaturdrift på senderen er temperaturdriften til silisiumtrykksensoren. Den nåværende forskningen på temperaturdriftkompensasjon av silisiumtrykksendere er også hovedsakelig fokusert på den delen av silisiumtrykksensorer.

For mer informasjon, vennligst kontaktQi Huang